1．介紹: 使用英福康/INFICON氦檢儀對產品內進行負壓真空氦氣泄漏檢測，產品在經過摩擦焊接后對腔體內充入高壓混合氣體，混合氣體內包含氦氣，如在焊接過程中產生缺陷會導致內部高壓氣體緩慢泄露，設備由機器人將被檢產品放入檢測腔室內，由粗抽真空泵對檢測腔室進行預抽真空達到要求負壓值，而后打開精抽真空泵連接英福康檢測精抽氣體中是否還有氦氣，如有氦氣即判斷NG。

2．特點:

(1)      設備使用LDS3000 檢漏儀有較高吞吐率和良好品質及可靠性，減少了停機和頻繁維護。

(2)      檢測速度快精度高，可在 1 秒鐘內檢測高達 1 x 10-11 mbar l/s 的泄漏率。

(3)      設備有完整的DIS防錯體系，保證設備的可靠性以及準確性。

3．項目意義：

減少了現場人工的使用，提高了現場產能，實現了高速度、高精度、高自動化的生產，有利于工廠管理及實現全線的自動化排布。